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비접촉식 웨이퍼 픽업 및 세정장치

작성자
관리자
조회
57
작성일
2023.10.06
첨부

79.SMK2022_10-2022-0052607(2022.04.28)_김영형.pdf

발명의 명칭
비접촉식 웨이퍼 픽업 및 세정장치
출원인
금오공과대학교 산학협력단
발명자
김영형
출원번호
10-2022-0052607
출원일자
2022.04.28
출원/등록
기술분야
IT
대분류
전기·전자
소분류
반도체장비
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